使用四点探针台,机台的手臂◎可快速更换模块式探针头,探针头将针尖间距及压力参数〓固定,当探头的探针点在基板上时, 附有内藏弹簧的探针会将四根针同时收缩,在固定的下压应力使∏测量的稳定性增加,外搭仪器Keithley 2400 /Keysight 2900可做测量.在制程改进方面只要将V/I这个数值彼此的位置互相比较或跟上一次V/I比较为参考,不需要再乘上一些其它系数做太复杂的演算.可以选购奕叶的软件使操作简单化及自动化,适用于半导体、太阳能、OLED、微机电、燃料电池等各式产业。
一、规格
l?探针间距:40mil,62.5 mil
l?探针压力:80g
l?探针材质:BeCu
Tungsten Carbide
l?高温选配:High Temp.
200 ℃ ??
l?卡盘尺寸可选择:6英寸、8英寸、12英寸;
l?材料:特氟龙
l?探针升降长度:10毫米
l?探针台Z轴升降精度卐为:1微米
l?探针材质:碳化钨、铍铜合金
l?探针距离:40mil、50mil、62.5mil
l?弹簧探针力度:45grams、85grams、180grams
l?探针直径:40.6微米?
l?尺寸:220mm长x420mm宽x250mm高
l?重量:20Kg
二、特点
l?可垂直上下移动
l?特殊恒定负载的弹簧↑探针
l?恒定的探针间距
l?可保持极大程度的重复性测试
l?探头方便更换
l?探针台顶部可调整Z轴移动
l?稳固的连接线在探针台后面
l?转接头可选择:Banana/ BNC/ Triaxial Female
l?卡盘可快速移动
l?可以配合加热吸盘使用
l?卡盘尺寸可以选择:6英寸、8英寸、12英寸
l?气动的SR-4可用开关控制升降
三、应用
l?薄膜偏电阻?Sheet
Resistivity
l?体积偏电阻?Volume
Resistivity
l?导电率Doping
Quality
l?金属膜厚Metalization
Thickness
l?P/N极性P/N Typing
l?电流电压I-V特性 V/I Measurement
四、其他高级应用
l?高阻低电流
l?温度环Ψ境下量测RT~200℃
l?超高温RT~1200 ℃
l?无氧∴环境下
l?微小间距最小10 micron
l?大面〖积尺寸基板1200mm×900mm
l?仪器结』合软件
关注我们
数据加载中,请稍后... |